紫外臭氧分析儀依據朗伯—比爾定律，通過測量臭氧對紫外光吸收前后的光信號強度變化，由此計算出當前臭氧濃度值。主要用于連續檢測各種工業環境下的臭氧氣體，也可用于檢測運行中的管道、容器等環境的臭氧氣體。廣泛應用于化工、市政、污水處理等行業，對臭氧發生器出口濃度和臭氧發生器產量測量。
臭氧分析儀主要應用于臭氧制備車間、化工、造紙和香精香料工業、水處理、食品滅菌車間等場合 。這里對臭氧分析儀的四種檢測原理進行了闡述，并且對其適用場合進行了簡單的說明。
紫外臭氧檢測儀利用了紫外線吸收法為原理，紫外線吸收法是現在物理方法分析臭氧的方法。它是利用臭氧對254nm波長的紫外線特征吸收的特性，只要選擇合適長度的吸收池，就可以檢測0.002mg/m3至5%(vol)濃度的臭氧。其線形在4~5個數量級內都很好，該法已被我國作為環境空氣中測定臭氧的標準方法(GB1/T1154348)。紫外線吸收法不但適用于檢測氣體中臭氧濃度，也可以檢測水中溶解的臭氧濃度。
應用
·在偏僻的地方進行長期監測，那里電力受到高度限制；
·城市地面基站探測；
·電器工廠（如：臭氧箱，臭氧消毒柜，臭氧試驗設備，臭氧發生器等）實驗測試；
·潔凈區臭氧滅菌（如：化妝品，食品工廠潔凈室，半導體潔凈室）；監測臭氧濃度；
·為研究空氣污染對健康影響而做的個人暴露監測；
·在時間變化快的飛行航程上。
